兼容CMOS製程的氮化矽波導元件

光電工程學系王俊達博士

一種CMOS 半導體製程製作氮化矽波導元件，CMOS兼容以外，也適用於可見光波段，可製作各種氮化矽被動元件。可應用於光通訊系統、資料處理中心等。

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